3d表面轮廓测量仪

  • 产品价格:面议
  • 所 在 地:广东-深圳市
  • 有效期至:长期有效
  • 发布日期:2022-06-23
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产品详情

3d表面轮廓测量仪结合自定义分析模板的自动化测量功能,可自动完成多区域的测量与分析过程。采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高。

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3d表面轮廓测量仪分辨率0.1μm,重复性0.1%,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。在半导体、精密加工及微纳材料等领域可得到广泛应用,光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面线粗糙度、金字塔型磁头夹角、微透镜阵列曲率半径等。
 

技术参数

产品型号:SuperView W1系列

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:1024×1024
光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)
干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可测样品反射率:0.05%-100
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
注释:更多详细产品信息,请联系我们获取
 

产品功能
1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

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3d表面轮廓测量仪具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。并且其特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

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  • 深圳市南山区西丽学苑大道1001号南山智园B1栋2楼

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